High Vacuum Sputtering Thin Film System

（1） 可製作磁致伸縮薄膜材料，如Co、CoFeB與Co/AlOx/CoFeB等單層與多層薄膜結構材料系統。
（2） 可製作鈷鐵硼(CoFeB)合金薄膜、鈷鐵釩(CoFeV)合金薄膜、鈷鐵鎢(CoFeW)合金薄膜、鈷鐵鎢硼CoFeWB合金薄膜等關鍵性材料，用於STT RAM等自旋電子元件中。
（3） 可製作開發新穎可撓曲透明電極材料如金屬網格透明電極、新穎金屬氧化物薄膜、複合式透明導電薄膜。
（4） 可製作開發低維度奈米熱電能源轉換薄膜材料。
（5） 可執行材料高真空退火製程。