High Vacuum Sputtering Thin Film System

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儀器廠牌 
世欣科技股份有限公司
購置日期 
107年07月
放置位置 
人科二館 DS114
功能說明 

(1) 可製作磁致伸縮薄膜材料,如Co、CoFeB與Co/AlOx/CoFeB等單層與多層薄膜結構材料系統。
(2) 可製作鈷鐵硼(CoFeB)合金薄膜、鈷鐵釩(CoFeV)合金薄膜、鈷鐵鎢(CoFeW)合金薄膜、鈷鐵鎢硼CoFeWB合金薄膜等關鍵性材料,用於STT RAM等自旋電子元件中。
(3) 可製作開發新穎可撓曲透明電極材料如金屬網格透明電極、新穎金屬氧化物薄膜、複合式透明導電薄膜。
(4) 可製作開發低維度奈米熱電能源轉換薄膜材料。
(5) 可執行材料高真空退火製程。