Rapid Thermal Annealing Furnace

快速升溫及降溫。以遠紅外線進行急速加熱，並以冷卻氣流進行表面冷卻，可短時間達到均一加熱。由於製品是以連續處理的方式來進行流程，因此可使產品維持一定品質，達到精度安定化。處理時間縮短-藉由遠紅外線與氣流之結合， 可迅速對立體狀工件進行均一加熱。