MTS Nano-Indenter

（1） 量測奈米薄膜材料之硬度與楊氏係數。
（2）配合軟體校正減少基板效應的影響。
（3）Nano indenterXP 具有獨家CSM量測系統，可精確的量測材料硬度值、彈性係數等。
（4）有高解析度定位平台與程式化路徑設定功能，因此可量測到基材上面的沉積薄膜性質。
（5）針對測量薄膜，塗層和材料進行壓痕，硬度，刮痕和通用奈米級測試。