掃描式電子顯微鏡/能量散射光譜儀（SEM/ EDS）

掃描式電子顯微鏡/能量散射光譜儀（SEM/ EDS）
Chinese, Traditional (繁體中文)
儀器廠牌 Equipment Brand 
JSM-6510 LV, JEOL Ltd./ INCA x-act, Oxford Instrument Analytical Ltd.
購置日期 Purchase Date 
100年12月
放置位置 Location 
人科二館 DS311 文物材料實驗室
所屬實驗室 Associated Lab 
保存科技共同實驗室(文資系所屬)
功能說明 Function Description 

（1） 電子顯微鏡觀察（SEM）：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。 （2） 表面能階分析（EDS）：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料組成

檢測項目 Inspection Item 

（1）二次電子影像（SEI）：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。 （2）背向散射電子影像（BEI）：元素對比影像觀察。 （3）能量散射光譜儀（EDS）：材料微區元素定性與半定量檢測