六靶式磁控濺鍍系統 All Taiwan SPIN Research Center Optical Data Storage and Magnetic Thin Film Laboratory Brain Stimulation Laboratory Advanced Multifunctional Thin Film Laboratory Green Energy Technology Laboratory Novel Low-dimensional Materials and Devices Laboratory GHMS Laboratory 台灣自旋科技研究中心 光資訊儲存與磁性薄膜實驗室 腦功能激發實驗室 先進多功能薄膜材料實驗室 綠色能源科技實驗室 新穎低維度材料與元件實驗室 教師專題實驗室 保存科技共同實驗室(文資系所屬) 語言 Chinese, Traditional (繁體中文) 儀器廠牌 自組購買日期 97年放置位置 人科二館DS221所屬實驗室 台灣自旋科技研究中心功能說明 此濺鍍系統為本中心第一套高真空磁控濺鍍系統，主要製作磁性記憶體之pMJT結構。腔體中可放置六種靶材。 English
